※このページは、自動車関連企業等より配信されたパブリシティリリース記事をそのまま転載しております。掲載内容に関するお問い合わせ等につきましては、直接リリース配信元までお願いいたします。
キヤノンは、第6世代ガラス基板（※1）に対応したFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置の新製品として、露光幅拡大により高い生産性を実現した“MPAsp-E1003H”を2024年6月上旬に発売します。
近年、自動運転技術の進展や電気自動車の市場拡大により、多様な車載用ディスプレイの需要が高まっています。車載向けやスマートフォン向けのディスプレイの製造においては、薄型・軽量と高精細を両立する品質を実現しながら、効率的に量産を行う高い生産性が求められています。新製品“MPAsp-E1003H”は、露光幅の拡大による高い生産性と新技術による重ね合わせ精度を両立することで、ディスプレイ製造の効率化に貢献します。
■ 第6世代ガラス基板最大（※2）の露光幅により生産性が向上
大型テレビなどの65型パネルを一括で露光可能な第8世代ガラス基板（※3）向け「MPAsp-H1003H」（2022年7月発売）で実績のある投影光学系を搭載したことにより、1.5μm（※4）（L／S（※5））の高解像力で一度に露光できる幅を約1.2倍（※6）に拡大しています。１枚のガラス基板につき、従来６ショットの露光が必要であったスマートフォンなどの製品は４ショットでの露光が可能となり、生産性が向上しました。さらに車載用途に使われる横長の大型特殊ディスプレイも繋ぎ目なく2ショットで露光できるため、量産の効率化に寄与します。
■ 新開発の非線形補正ユニットにより高い重ね合わせ精度を実現
第6世代基板対応の「MPAsp-E813H」（2014年9月発売）と同じアライメント方式を採用しているほか、新開発の非線形補正REI（Real-Time Equalizing distorted Image）ユニットを搭載しています。REIユニットにより露光幅を拡大しても±0.30μmという高い重ね合わせ精度を実現します。
■ プロセス対応力を強化
「MPAsp-H1003H」で実績のある超解像を実現する照明モード切替機構、露光線幅を安定させる露光スリット自動調整（SIC）機構、露光レイアウトに合わせて最適なガラス基板の向きを縦横選択可能にするユニバーサルチャックを踏襲し、さまざまな製造プロセスへの対応力を強化するとともに、品質の安定化にも貢献します。
※1. 1,500×1,850mmサイズのガラス基板で、スマートフォンを中心とした中小型ディスプレイの製造に用いられる。
※2. キヤノン製の第6世代ガラス基板に対応したFPD露光装置において。
※3. 2,200×2,500mmサイズのガラス基板で、現在は主にテレビ用ディスプレイのパネル製造に用いられる。
※4. 1マイクロメートルは、100万分の1メートル（＝1000分の1mm）。
※5. Line and Spaceの略称。LineとSpaceが等間隔に並んだパターン。
※6. 「MPAsp-E813H」と比較。
<ご参考>
●製品紹介動画
https://global.canon/ja/product/indtech/fpd
●キヤノンテクノロジーサイト しくみと技術：FPD露光装置
https://global.canon/ja/technology/fpd2021s.html
人気記事ランキング(全体)
ポップアップで広がる空の部屋。家族旅を快適にするミニバンキャンパー「セレナ P-SV」 ミニバンの実用性とキャンピングカーの機能性。その両方をバランスよく融合させたのが、日産ピーズクラフトが手がける「[…]
侮るなかれ、さまざまな効果が得られる空力パーツ 先日、知り合いからユニークなカーグッズを紹介された。細長いプラスチックパーツが12個並べられているパッケージ。一見すると、どんな用途でどのように使用する[…]
頑健だが「色気のない三菱車」。そんなイメージを覆して大ヒット車に 三菱自動車工業という会社が誕生したのは、1970年のこと。ただし、その前身である三菱重工の歴史を遡れば、坂本龍馬が作った海援隊にルーツ[…]
コンパクトボディに快適空間を凝縮。夫婦旅に最適な「北斗 対座モデル」 キャンピングカー選びにおいて重要なのは、自分たちのライフスタイルに合った1台を見つけること。家族4人でワイワイ出かけたい人もいれば[…]
トラブル時にも対応可能。万が一に備えて安心ドライブ 車に乗っていると、どうしても避けられれないトラブルに遭遇することがある。どれだけ用心していても、不可抗力で発生することもある。例えば、釘やネジを踏ん[…]
最新の投稿記事(全体)
老舗ビルダーのハンドクラフト技術が注がれた「旅を芸術に変える」キャンピングカー 「Pablo」は、ピカソの自由な発想と加藤モーターのハンドクラフト技術を融合させ、「走るキャンバス」として車体全体をデザ[…]
ドレスアップ＆実用性に優れる「らしい」アイテムをセットで提供 キャラバン用として導入される「SOTOASOBIパッケージ」は、アウトドアシーンで映えるデザインと機能性を両立させているアクセサリーパッケ[…]
3列シート7人乗りを実現したミッドサイズSUV インドネシアのミツビシ・モーターズ・クラマ・ユダ・インドネシアで生産される新型デスティネーターは、「The Confidence Booster for[…]
最も危険な凍結路面での安心ドライブをサポート iceGUARD 8は、冬用タイヤの新技術コンセプト「冬テック」を初採用したモデル。冬テックは、冬の路面との「接触」を最大化する技術で、「接触の密度（氷と[…]
高出力モーターと新AWD制御で意のままの走りを実現 アンチャーテッドはスバルグローバルバッテリーEVラインナップの第3弾となるモデル。発表済みのソルテラ改良モデル、新型トレイルシーカーに続くスバルBE[…]
